sp; 既收获了口碑，同时又积累了使用经验和海量数据，这些对于新一代光刻机研发都是极为宝贵的资源。

  就这样磕磕绊绊，华国光刻机产业最终在夹缝中艰难生存了下来，并始终保持了对世界先进制程水平的跟踪。